Tak zwany laser ekscymerowy odnosi się do lasera wytwarzanego przez wzbudzone dimery. Nazywa się go ekscymerem, ponieważ nie jest stabilną cząsteczką. Jest to ulotna cząsteczka, która kiedyś powstała w wyniku szeregu reakcji fizycznych i chemicznych spowodowanych wystawieniem mieszanego gazu laserowego na działanie energii zewnętrznej. Jego żywotność to zaledwie kilkadziesiąt. Nanosekundowy laser ekscymerowy to rodzaj lasera impulsowego, który generuje laser o różnej długości fali, ponieważ wnęka rezonansowa jest wypełniona różnymi mieszaninami gazów rzadkich i gazów halogenowych. Zakres długości fal wynosi 157-353nm.
Gazem roboczym stosowanym w laserowej chirurgii refrakcyjnej rogówki jest ArF, który wytwarza laser ekscymerowy o długości fali 193 nm, będący falą światła ultrafioletowego. Kiedy każda wiązka lasera uderza w tkankę, może odparować cząsteczki tkanki, dzięki czemu jest dokładna. Intensywność jest bardzo wysoka, a ponieważ jest to zimny laser, nie powoduje efektu termicznego na tkance znajdującej się obok napromieniowanej części. Dzięki tej dokładnej waporyzacji można dokładnie odciąć warstwę rogówki, nie naruszając jednak struktury rogówki. Żadnych skutków ubocznych.
